真空成膜装置
Products No / 007
縦型スパッタリング装置（ロール幅：400mm）
特徴
| 走行方式 | 縦型 |
|---|---|
| 成膜方式 | スパッタ |
| 基材 | フィルム |
| 用途 | 電子部品材料 |
スペック・仕様
| ロール幅 | 400mm |
|---|---|
| 機械速度 | 0.05～2.50m/min |
| スパッタ源数 | 3台 |
| 設置エリア | L6m×W5m×H3m |
| 総重量 | 6Ton |
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