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真空成膜装置

Products No / 007

縦型スパッタリング装置(ロール幅:400mm)

特徴
走行方式 縦型
成膜方式 スパッタ
基材 フィルム
用途 電子部品材料
スペック・仕様
ロール幅 400mm
機械速度 0.05~2.50m/min
スパッタ源数 3台
設置エリア L6m×W5m×H3m
総重量 6Ton

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